ÀüºÏ´ëÇб³ ¹ÝµµÃ¼Æ¯¼ºÈ´ëÇлç¾÷´ÜÀÌ ¹ÝµµÃ¼ À¶ÇÕÀü°ø ÇлýµéÀÇ ±³À° °æÀï·ÂÀ» ³ôÀ̱â À§ÇØ Áö³´Þ 23ÀϺÎÅÍ 29ÀϱîÁö Âü¿© ÇлýµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î µ¿°è ¹ÝµµÃ¼Ä·ÇÁÀÎ ‘¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸· °øÁ¤½Ç¹«±³À°’ ÇÁ·Î±×·¥À» ÁøÇàÇß´Ù.
À̹ø ÇÁ·Î±×·¥Àº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ À̷б³À°°ú ½Ç½ÀÀ» ÅëÇØ Âü¿© ÇлýµéÀÇ ½Ç¹«´É·ÂÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°í ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß °í±ÞÀη À°¼ºÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àη ºÎÁ· ¹®Á¦ Çؼҿ¡ ±â¿©Çϱâ À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
ÇÁ·Î±×·¥¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ÁõÂø °øÁ¤±³À°ÀÇ ÀÌ·Ð ¹× ½Ç½À, ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß ÁõÂø °øÁ¤¿¡ ÀÌ¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÇ ÀÌÇØ¿Í °øÁ¤ ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇÑ ±³À°, ÁõÂøÀåºñ 3Á¾(DC Sputter, E-beam evaporator, PECVD), ÁõÂø ÈÄ ºÐ¼® ÀåºñÀÎ SEM Àåºñ±³À° µîÀÇ ÀÌ·Ð ¹× ½Ç½À±³À°ÀÌ 20½Ã°£ °úÁ¤À¸·Î ¿î¿µµÆ´Ù.
ƯÈ÷ »ç¾÷´ÜÀº »çÀü ¼ö¿äÁ¶»ç¸¦ ÅëÇØ ÇлýµéÀÌ ¿øÇÏ´Â ¸ÂÃãÇü ±³À°°úÁ¤À» °³¼³ÇØ ÁøÇàÇß´Ù.
±èÁø¼ö »ç¾÷´ÜÀåÀº “ÇлýµéÀÌ ¿øÇÏ´Â ¸ÂÃãÇü ±³À°°úÁ¤ ¿î¿µÀ» ÅëÇØ Âü¿© ÇлýµéÀÇ ¸¸Á·µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô¾Ò´Ù”¸ç “¾ÕÀ¸·Îµµ ÇÁ·Î±×·¥À» Á¤±âÀûÀ¸·Î ¿î¿µÇØ ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ß¸¦ À̲ø¾î ³ª°¥ °í±Þ ÀÎÀç ¾ç¼º¿¡ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
±èÀ±»ó ±âÀÚ sangsan83@hanmail.net
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüºÏÁ¦ÀϽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>